D.1 通 則

　　D.1.1 潔凈室(區(qū))應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。

　　D.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認證宜為靜態(tài)或動態(tài)。

　　附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證

　　D.1 通 則

　　D.1.1 潔凈室(區(qū))應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。

　　D.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認證宜為靜態(tài)或動態(tài)。

　　D.2 潔凈室(區(qū))性能測試要求

　　D.2.1 確認潔凈室(區(qū))符合本規(guī)范要求，應進行下列基本測試：

　　1 空氣潔凈度等級測定;

　　2 靜壓差;

　　3 風速或風量。

　　D.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量的認證測試的最長時間間隔應符合表D.2.2—1和表D.2.2—2的規(guī)定。

　　注1 若潔凈室(區(qū))運行中已對粒子濃度、風速、靜壓差進行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認證單位洽商。

　　2 空氣潔凈度等級認證，可在靜態(tài)或動態(tài)檢測，洽商確定，

　　3 風量測定，應采用風速計在風口或風管測定。

　　D.2.3 電子工業(yè)潔凈室(區(qū))的認證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量測試外，還應根據(jù)需要進行表D.2.3規(guī)定的洽商選擇測試項目。

　　D.3 潔凈室測試方法

　　D.3.1 風量或風速測試，應符合下列規(guī)定：

　　1 對于單向流潔凈室，應采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，并應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應在柵格中心或不應少于3點。每一點的測試時間不應少于10s。應記錄平均值、最大值和最小值，并應以算術平均值作為平均風速。

　　2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應少于10s。

　　3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量，每個測試位置的測點數(shù)不應少于3點。

　　D.3.2 靜壓差測試，應符合下列規(guī)定：

　　1 靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。

　　2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。

　　3 潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時，應從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。

　　D.3.3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規(guī)定：

　　1 儀器應使用采樣量大于1 l/mm的光學粒子計數(shù)器。

　　2 應在過濾器上風側引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應大于3.5×107P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

　　D.3.4 潔凈度的檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 應使用采樣量大于1 l/min光學粒子計數(shù)器，應根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。

　　2 最少采樣點應按下式計算：

　　NL=A0.5 (D.3.4—1)

　　式中 NL——最少采樣點;

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應位于工作區(qū)的高度。

　　3 每一采樣點的每次采樣量應按下式確定：

　　4 當潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。

　　D.3.5 氣流流型的檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。

　　2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

　　3 示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

　　4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進行觀察或做成圖像。

　　5 應采用圖像處理技術進行氣流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術處理得到氣流特性。

　　6 氣流目測的測點位置、儀器等，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

　　D.3.6 溫度、相對濕度的檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉，并應至少穩(wěn)定運行1.0h后進行。

　　2 相對濕度檢測應將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應為100m2，應每格一個測點，但每個房間不應少于2個測點。

　　3 檢測用探測器應設在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

　　4 檢測時間應至少1.0h，并應至少6mm進行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

　　D.3.7 噪聲檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。

　　2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m，距墻應大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設一檢測點。

　　D.3.8 照度測試，應符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

　　2 照度檢測應在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應包括生產(chǎn)設備等的局部照明和備用照明。

　　3 照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。

　　D.3.9 微振檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應采用符合精密設備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進行分階段測試。

　　2 微振檢測點應根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進行微振控制的精密設備、儀器的布置和微振控制設計的要求設置，一般檢測點應設在微振控制相關的地面、樓面、基礎面等。

　　3 微振控制的檢測應由具有相應資質的單位進行。現(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應經(jīng)過科學分析后，提供微振控制檢測報告，應包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結論等。

　　D.3.10 自凈時間檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。

　　2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應符合下列要求。

　　1)以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間(t)。

　　2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，方法同上。

　　3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間(t0)，與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。

　　4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。

　　D.3.11 密閉性檢測，應符合下列規(guī)定：

　　1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區(qū))。

　　2 采用粒子計數(shù)器法檢測潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測時應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3. 5×106個/m3待測粒徑的粒子。

　　3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm/s。

　　潔凈室敞開門處的滲漏檢測，應在距離門0.3～3.0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。

　　記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

　　D.4 認 證

　　D.4.1 潔凈廠房性能測試認證前，應由業(yè)主與認證單位簽訂協(xié)議書，協(xié)議書中應明確檢測項目、測點位置及數(shù)量、測量要求和限值等，如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數(shù)、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù)、測量時間間隔、被計數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。

　　D.4.2 按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第D.2節(jié)的要求，以及本附錄第D.3節(jié)的方法進行測試，若測試結果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說明該潔凈室(區(qū))符合規(guī)定要求。若測試結果超過規(guī)定的限值，說明該潔凈室(區(qū))不符合要求，應進行改進，在完成改進工作之后，應進行再認證。

　　D.4.3 每次性能測試或再認證測試應作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內(nèi)容：

　　1 測試機構的名稱、地址;

　　2 測試日期和測試者簽名;

　　3 執(zhí)行標準的編號及標準出版日期;

　　4 被測試潔凈室(區(qū))的地址、測試項目、測點的特定編號及坐標圖;

　　5 被測潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室(區(qū))所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度;

　　6 測量用儀器的編號和標定證書;測試方法細則及測試中特殊情況，

　　7 測試結果包括所有測試項目的記錄數(shù)據(jù)、分析結論等;

　　8 對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理;

　　9 注明上次的測試日期，

　　10 設施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據(jù)。

　　D.4.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。

　　D.5 記 錄

　　D.5.1 記錄保存應符合質量控制程序的要求。

　　D.5.2 應按常規(guī)或定期的測試方法和儀表檢測，將初始觀察記錄、計算、數(shù)據(jù)處理和最終報告，以及測試評價、報告人員簽名和日期進行存檔。